母盘制作过程对工艺要求是极为严格的,生产中的任何环节度出问题都可能造成目盘缺陷而报废，所以车间的环境、操作人员的水平直接影响到母盘的质量。母盘的缺陷分为电气性能和外观两个方面，它们的解决方法也不同：

电气性能主要表现在：

1、BLER太高 2、I3/I11太高 3、I3/I11太低 4、SYM/ASYM太高或太低

5、PUSH PULL 太高或太低 6、读取TOC出错 7、有E32或E22太多 8、REF太高

9、RN太高

外观缺陷主要表现以下方面：

1、版面上出现一圈圈的环状带

2、版面有污点

3、无法显影

4、玻璃片上有凝块

5、版面出现同心圈状条纹

6、出现马蹄形物

7、感光胶出现径向条纹

8、玻璃表面出现环绕污点

9、母盘外圈出现手指形状的黑色印

10、从中心向外辐射的径向条纹带

11、在显微镜下看有泡或镍松弛

12、划伤

13、云彩

14、鱼眼

15、在程序区出现没有坑的环绕黑点

16、电铸时接触环部分松脱

17、电铸时接触环完全松脱

18、母盘的背面有氨基磺酸晶体

19、版的信息中心部分由蓝色/褐色的污点

20、在程序区的中心或内圈有轻微的黑环

21、版中心孔没有镍 22、烧伤

23、信息去外围出现不规则的白色乳状污迹

24、黄色/褐色的污迹覆盖在整个信息区

25、镍层太早分离玻璃片

26、褐色污迹

27、结晶很明显